5-Axis Milled Ceramic Insulators untuk Peralatan Semikonduktor & Bilik Bersih

Dalam dunia pembuatan semikonduktor yang berkepentingan tinggi dan persekitaran bilik bersih, setiap komponen mesti memberikan prestasi yang sempurna. PadaPFT, kami pakar dalam membuat kerajinanPenebat seramik giling 5 paksiyang mentakrifkan semula ketepatan dan kebolehpercayaan. Dengan lebih 20+bertahun-tahun kepakaran, penyelesaian kami direka bentuk untuk memenuhi permintaan peralatan semikonduktor yang mendesak, memastikan kestabilan haba, penebat elektrik dan operasi bebas pencemaran dalam tetapan ultra-sensitif.

Mengapa Memilih Penebat Seramik Giling 5 Paksi Kami?

1.Keupayaan Pengilangan Termaju

Kemudahan kami dilengkapi denganmesin pengilangan CNC 5 paksi yang terkini, membolehkan ketepatan tahap mikron dalam membentuk seramik termaju seperti alumina (Al₂O₃), silikon karbida (SiC), dan aluminium nitrida (AlN). Tidak seperti kaedah konvensional, pemesinan 5 paksi membolehkan geometri kompleks—penting untuk komponen seperti pin lif wafer, bahagian ruang pemendapan dan penebat kalis plasma .

Ciri-ciri Utama:

•Ketepatan:Toleransi ±0.005mm untuk penyepaduan lancar ke dalam alat litografi ASML atau sistem etsa Lam Research.
•Kepelbagaian Bahan:Dioptimumkan untuk 99.8% alumina, SiC ketulenan tinggi dan seramik termaju yang lain.
•Kemasan Permukaan:Ra <0.2μm untuk meminimumkan penjanaan zarah dalam bilik bersih Kelas 1 ISO.

2.Kejuruteraan Proses Proprietari

Jurutera kami telah membangunkawalan proses gelung tertutupyang menyesuaikan diri dengan kerapuhan seramik semasa pemesinan. Dengan menggabungkan teknik pengilangan kering dengan redaman getaran masa nyata, kami mencapai permukaan bebas retak dan jangka hayat komponen yang dilanjutkan—walaupun di bawah kitaran haba yang melampau (sehingga 1,600°C) .

Tumpuan Inovasi:

•Protokol Pelepasan Tekanan:Minimumkan keretakan mikro dalam penebat AlN untuk aplikasi CVD.
•Rawatan Selepas Pemesinan:HIP (Hot Isostatic Pressing) meningkatkan ketumpatan dan rintangan kakisan.

3.Jaminan Kualiti yang Teguh

Setiap penebat mengalamiPemeriksaan 12 peringkat, termasuk:

•CMM (Mesin Pengukur Koordinat)pengesahan dimensi kritikal.
•Ujian kebocoran heliumuntuk keserasian vakum.
•EDS (Energy-Disperssive X-ray Spectroscopy)untuk mengesahkan kesucian material.

kamiSistem yang diperakui ISO 9001/14001memastikan kebolehkesanan daripada perolehan bahan mentah (bersumberkan daripada pembekal Tahap 1 seperti CoorsTek) kepada pembungkusan akhir .

Aplikasi: Di ​​Mana Ketepatan Memenuhi Prestasi

Penebat kami dipercayai dalam:

•Alat Etch & Pemendapan:Komponen bersalut SiC untuk rintangan plasma dalam modul Bahan Gunaan™.
•Implanters Ion:Pin angkat alumina dengan salutan anti statik untuk mengelakkan gelinciran wafer.
•Sistem Metrologi:Penebat pengembangan terma rendah untuk peringkat litografi EUV.

Kajian Kes:OEM semikonduktor terkemuka mengurangkan masa henti alat sebanyak 40% selepas bertukar kepada kepala pancuran mandian SiC kami yang direka khas, yang mengatasi prestasi bahagian pesaing dalam pemprosesan wafer 300mm.

Beyond Manufacturing: Pendekatan Perkongsian

•Prototaip Pantas:Serahkan fail CAD anda dan terima prototaip berfungsi dalam 7 hari.
•Pembungkusan Bilik Bersih Di Tapak:Pemasangan bilik bersih Kelas 10 pilihan untuk penyepaduan alat langsung.
•Sokongan Teknikal Seumur Hidup:Jurutera kami menyediakan analisis haus dan perkhidmatan pemesinan semula untuk melanjutkan kitaran hayat komponen.